EUV光源功率可提升至千瓦#!ASML:2030年每小时晶圆产量可望提升50%

【#EUV光源功率可提升至千瓦#!ASML:2030年每小时晶圆产量可望提升50%】#光刻机#


《路透社》周一(23 日) 独家报导指出,#ASML#最新表示,已找到可大幅提升关键芯片制造机器光源功率的方法,进而能在2030 年前将芯片产量提高多达50%。这家半导体设备制造龙头的研究人员指出,透过提升功率,可将光刻机极紫外光源的功率提升至1000 瓦,预计到2030 年极紫外光(EUV) 光刻设备每小时的晶圆产量可增加50%。http://t.cn/AXcbZ3mq


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